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機(jī)構(gòu)·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承 · 工作臺(tái)回轉(zhuǎn)式 |
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半徑方向 回轉(zhuǎn)精度 | (0.02+0.00035H)μm H:工作臺(tái)面上算起的高度(mm) |
最大測(cè)定徑 最大測(cè)定高度 | 內(nèi)外徑都是?368mm 外徑470mm, 內(nèi)徑320mm |
最大裝載徑/積載重量 | ?510mm/25kg |
上下移動(dòng)量 | 300mm (使用b觸針臂時(shí)) |
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