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- 輪廓形狀測定機
- EF550A-M50/-M5·B/-M58 產(chǎn)品介紹
- · 搭載巨集解析功能為復雜解析作業(yè)提供省力方案。 · 可搬動，是設置自由度高的測定機。 · 即時輸出功能、測定完成後可在觸控屏上立即得到擴大形狀并進行解析。 · 可擴充連接輪廓形狀解析軟件、可以有更高度的解析。
| 測定精度 | Z: 土(2.5+05 × IHI) μm以下 H:變位(mm) X: 士(2.5+0.02L) μm以下 L:測定長度(mm) |
|---|---|
| 分解能 | X:0.1μm Z:0.25μm |
| 取樣數(shù)/最小間隔 | Max 64,000點/Min 0.5μm |
| 測定范圍 | Z:30mm X:50mm |
| 表示倍率 | 縱(Z)、橫(X):1 ~2,000倍 |
| 直線度精度 | 1.0μm/100mm |
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