首先，對于塊狀樣品，需進(jìn)行切割、打磨、拋光等處理，使樣品表面平整光滑，減少劃痕與表面起伏，必要時還需進(jìn)行離子減薄等操作以獲得合適的厚度，避免電子束穿透受阻產(chǎn)生假象。對于粉末樣品，要均勻分散在導(dǎo)電基底上，如碳膜或金屬網(wǎng)，可采用超聲分散等方法確保顆粒均勻分布且不團(tuán)聚。對于生物樣品，需進(jìn)行固定、脫水、包埋等特殊處理，以保持其原有結(jié)構(gòu)并增強(qiáng)其導(dǎo)電性與穩(wěn)定性。在整個制備過程中，要嚴(yán)格控制環(huán)境條件，避免灰塵等雜質(zhì)污染樣品。樣品制備完成后，需盡快放入電子顯微鏡中觀察，防止樣品在空氣中發(fā)生氧化或其他變化而影響圖像質(zhì)量。